三氯化硼 （BCl3)

包装：采用44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中。

用途：

1、高纯三氯化硼主要用于（硅）半导体器件制造工艺中的扩散掺杂（在高温下，经过分解生成硼杂质向硅中扩散，形成P型半导体）、离子注入（作为离子注入源，高能量作用下使硼原子离子化，产生硼离子束并注入硅形成P型浅结）、干法蚀刻（用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蚀刻）等过程；

2、可作为许多有机反应中的优良催化剂及医药工业的中间体。

理化性质: 

无色发烟液体或气体（有毒、不燃），有强烈刺激性、酸性气味，易潮解，在潮湿的空气中可产生浓密白烟，在水中分解为盐酸和硼酸,在醇中分解为盐酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使盐与强酸产生离子作用。

注意事项：

1、严加密闭，操作场所应提供充分的局部排风和全面通风，并配备应急处理设备。操作人员须经过安全培训，严格遵守操作规程。建议操作人员带防毒面具，戴橡胶手套，并防止气体泄漏到工作场的空气中，避免与水接触。搬运时要轻拿轻放或用合适的手推车来移动钢瓶，一定不要拉，滚动，滑动或放倒钢瓶，不要试图抓住气瓶的盖来拎起它。气瓶在使用的全过程中为固定状态，用一个独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体。一旦钢瓶接好，应仔细，缓慢的打开阀门。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系。 不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等)插入钢瓶盖内。否则会损坏阀门并引起泄漏。 使用可调节的扳手来打开过紧或生锈的钢瓶盖。不要用明火或其他临近的热源加热钢瓶的任何部分。碳钢、普通不锈钢、Monel蒙乃尔合金(Ni-Fe-Cu)及铜可以在没有潮气的情况下使用。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、铂及金有很好的抗腐蚀性，可以在有潮气的情况下使用。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC（聚氯乙烯）可以作为垫圈材料。

2、储存于阴凉与通风的安全库房。远离火种、热源，库温较好保持在35℃以下（较高存储温度不可高于52℃）。钢瓶应直立摆放，保持容器（阀门）密封完好并安装钢瓶盖。应与其它化学品分开存放，储区应备有泄漏应急处理设备。