氨气 （NH3)
项目名称 | 纯度指标（%） |
| 氨气 | ≥99.99999 | ≥99.999 |
杂质含量（ppm) | 氮气（N2） | ≤0.01 | ≤3 |
| 氧气（O2） | ≤0.01 | ≤2 |
碳氢化合物（THC） | ≤0.02 | - |
| 水（H2O) | ≤0.06 | ≤1 |
一氧化碳（CO)) | 0.01 | ≤1 |
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.05 | - |
甲烷（CH4） | - | ≤3 |
包装：采用40L、44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8—10L的气瓶中。
用途：用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜
理化性质: 通常为无色有强烈刺激性气味，常温下加压可液化，临界温度132.9℃，临界压力11.38MPa，常压下冷却到－33.35℃时液化。液氨挥发性很强，气化时吸热很大，在－77.75℃时凝固成无色结晶。氨极易溶于水，并放出热量。氨的水溶液称为**，呈弱碱性，易挥发。自燃点630℃，在空气中遇火能**。
常温、常压下在空气中的**极限为16％～28％（体积）。
注意事项：
1、工作时应选用耐腐蚀的工作服、防碱手套、眼镜、胶鞋、用硫酸铜或硫酸锌防毒口罩，防毒口罩应定期检查，以防失效。
2、在使用**作业时，应在作业者身旁放一盆清水，以防万一；在**运输过程中，应随身携带2~3只盛满3%硼酸液的水壶，以备急救冲洗；配制一定浓度**时，应戴上风镜；使用**时，作业者应在上风处，防止氨气刺激面部；操作时要严禁用手揉擦眼睛，操作后洗净双手。
3、配备良好的通风排气设施、合适的防爆、灭火装置。
4、工作场所禁止饮食、吸烟、禁止明火、火花。
5、应急救援时，必须佩带空气呼吸器。
6、发生泄漏时，将泄漏钢瓶的渗口朝上，防止液态氨溢出。
7、加强生产过程的密闭化和自动化，防止跑、冒、滴、漏。
8、使用、运输和贮存时应注意安全，防止容器破裂和冒气。
9、现场安装氨气监测仪及时**发现。
